Chi tiết sản phẩm

WT-2000 - Giải pháp đo lường mạnh mẽ dành cho các nhà máy bán dẫn

WT-2000 là giải pháp đo lường mạnh mẽ dành cho các nhà máy bán dẫn quy mô trung bình và phòng thí nghiệm. Hệ thống hỗ trợ wafer lên đến 300 mm, xử lý thủ công hoặc tự động với nhiều tùy chọn nạp wafer. WT-2000 có thể đo đặc trưng vật liệu bán dẫn, bao gồm đo cấy ion (JPV) và đo điện trở tấm bằng dòng điện xoáy (Eddy current). Hệ thống cũng tích hợp phần mềm tự động hóa với tùy chọn SECS/GEM, giúp nâng cao hiệu suất và khả năng kiểm soát quy trình.